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ckd工藝氣體用減壓閥PGM CKD的工藝氣體減壓閥擁有行業(yè)先的密封性能、滯后性和重復(fù)性。 通過供氣的高精度壓力/流量調(diào)整,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的工藝控制。 行業(yè) 半導(dǎo)體制造工序(前工序)
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