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更新時(shí)間：2023-12-05 
瀏覽次數(shù)：235自動(dòng)化晶圓處理 > 晶圓搬運(yùn) > 晶圓傳輸機(jī)批量-AHWT
產(chǎn)品
描述
桌上型自動(dòng)批量晶圓轉(zhuǎn)移工具。AHWT兼容高或低盒型運(yùn)輸料盒、加工料盒或金屬料盒。料盒感測(cè)器、等速控制和傳輸臂推力監(jiān)控使得AHWT非?？煽坎⑶野踩鞘謩?dòng)HWT系列的升級(jí)版。該 工 具 具 有 電 流 傳 感 功 能 以 調(diào) 解 推力，當(dāng)推力超過限制值時(shí)，可以調(diào)節(jié)縮回手臂。
規(guī)格
晶圓尺寸76, 100, 150, 200mm
電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培 電源單獨(dú)出售
吞吐量每小時(shí) 100 盒
重量35磅
附加信息
裝運(yùn)尺寸：19 × 9.5 × 12 英寸
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