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產(chǎn)品分類垂直晶圓傳輸機-全自動AVT
產(chǎn)品
描述
桌上型自動雙料盒垂直批量晶圓轉(zhuǎn)移工具,AVT是一種可靠性高、維護需求低的工具。通過簡單的設(shè)計實現(xiàn)先進(jìn)功能,提供更好的用戶體驗。安全傳感器確保料盒正確裝載,保證晶圓傳輸一致性。
下單時需要支持的料盒型號
晶圓接觸材料:抗靜電聚丙烯和縮醛,高純度材料,具有良好的耐磨性、耐熱性和出色的耐化學(xué)腐蝕性。
AVT 的特點:
一次傳送 25 個晶圓。
30 秒循環(huán)時間。
升降梳由防靜電縮醛材料制成。
固定梳由黑色縮醛制成。
規(guī)格
晶圓尺寸76, 100, 150, 200mm
電源要求220VAC 3 安培 至 24VDC 電源單獨出售
吞吐量每小時 60 盒
重量40磅
附加信息
裝運重量100磅
裝運尺寸28 × 16 × 30 英寸